Pūnaha rauemi taiawhio whakahiato (PIC).
Ko te Silicon photonics he ako e whakamahi ana i nga hanganga mahere i runga i nga rauemi silicon hei whakatika i te marama ki te whakatutuki i nga momo mahi. Ka aro matou ki konei ki te tono mo nga whakaahua silicon ki te hanga i nga kaiwhakawhiti me nga kaiwhiwhi mo nga whakawhitiwhitinga muka. I te mea ko te hiahia ki te taapiri atu i te tuku ki tetahi bandwidth kua hoatu, he tapuwae kua hoatu, me te utu ka piki ake, ka pai ake te ohanga o nga whakaahua ohanga. Mo te wahanga whatu,hangarau whakauru whakaahuame whakamahi, a ko te nuinga o nga kaiwhakawhitiwhiti hono i enei ra ka hangaia ma te whakamahi i te LiNbO3/whakawhitinga ngaru ngaru marama (PLC) motuhake me nga kaiwhiwhi InP/PLC.
Whakaahua 1: E whakaatu ana i nga punaha rauemi ara iahiko whakauru whakaahua (PIC).
Ko te Whakaahua 1 e whakaatu ana i nga punaha rawa PIC tino rongonui. Mai i te maui ki te taha matau ko te silica PIC (e mohiotia ana ko te PLC), te PIC insulator-a-silicon (silicon photonics), te lithium niobate (LiNbO3), me te roopu III-V PIC, penei i te InP me GaAs. Ko tenei pepa e arotahi ana ki nga whakaahua-a-kirika. I rotonga whakaahua silicon, ko te tohu marama te nuinga e haere ana i roto i te silicon, kei a ia te aputa roopu autaki o te 1.12 volts irahiko (me te roangaru o te 1.1 microns). Ka tipuhia te Silicon i roto i te ahua o nga tioata parakore i roto i nga oumu, ka tapahia ki nga angiangi, i enei ra e 300 mm te whanui. Ka oxidized te mata angiangi ki te hanga i te paparanga silica. Ko tetahi o nga angiangi ka pupuhihia e te ngota hauwai ki tetahi hohonutanga. Ka honoa nga angiangi e rua ki roto i te korehau ka herea o raua papa waikura ki a raua ano. Ka pakaru te huihuinga i te raina whakauru katote hauwai. Ka orohia te paparanga silicon i te kapiti, i te mutunga ka waiho he kahu angiangi o te kirikiriata Si ki runga ake o te angiangi "kakau" silicon mau tonu ki runga o te paparanga silica. Ka hangaia nga kaitarai ngaru mai i tenei paparanga karaihe angiangi. Ahakoa ka taea e enei momo angiangi o te insulator (SOI) iti-mate nga kaiarahi ngaru hiko, he mea nui ake te whakamahi i roto i nga iahiko CMOS iti-hiko na te iti o te rerenga rerenga e whakaratohia ana e ratou.
He maha nga momo miihini-a-roto i runga i te Whakaahuatanga-a-ringa-rite. He maha mai i nga waahanga ngaru miiharo-doped Germanium-dopeduguides ki te WondGuides waea a Nanoscale Silicugudes. Ma te whakaranu i te germanium, ka taea te hanganga kaitirotiro whakaahuame te whakauru hikomodulators, me te whakakaha whatu pea. Na te doping silicon, hemodulator whatuka taea te hanga. Ko te raro mai i te maui ki te taha matau ko: te arataki ngaru waea silicon, te arataki ngaru nitride silicon, te arataki ngaru oxynitride silicon, te arataki ngaru hiwi kirikiri matotoru, te arataki ngaru hiraka nitride angiangi me te arataki ngaru hiraka doped. Kei runga, mai i te taha maui ki te taha matau, ko nga kaiwhakatikatika whakaheke, nga kairapu whakaahua germanium, me te germanium.whakakaha whatu.
Whakaatu 2: Whanga-waahanga o te raupapa arataki ngaru whatu e hangai ana ki te silicon, e whakaatu ana i nga ngaronga whakatö me nga tohu tohu.
Wā tuku: Hūrae-15-2024